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碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法
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T/CASAS 014-2021
碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法
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T/CASAS 010-2019
氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2019-11-25
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T/CASAS 009-2019
半绝缘碳化硅材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2019-11-25
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