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碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法
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碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法
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碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法
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T/CASAS 032-2023
碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
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T/CASAS 025-2023
8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
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发布日期： 2023-06-19
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T/CASAS 009-2019
半绝缘碳化硅材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
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发布日期： 2019-11-25
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