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现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-04-13
现行
GB/T 1551-2021
硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法
Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon—In-line four-point probe and direct current two-point probe method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2021-05-21
现行
GB/T 1558-2023
硅中代位碳含量的红外吸收测试方法
Test method for substitutional carbon content in silicon by infrared absorption
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-12-28
现行
GB/T 40279-2021
硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
Test method for thickness of films on silicon wafer surface—Optical reflection method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2021-08-20
现行
Annealed monocrystalline silicon wafers
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2022-03-09
现行
GB/T 32280-2022
硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2022-03-09