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标准号
发布时间
现行
T/CNIA 0017-2019
多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-02-13
CCS分类：
H17半金属及半导体材料分析方法
ICS分类：
77.040.01金属材料试验综合
现行
T/CNIA 0012-2019
硅粉中硼、磷、铁、铝、钙、钛含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-02-13
CCS分类：
H10/19金属化学分析方法
ICS分类：
77.040.01金属材料试验综合
现行
T/CNIA 0116-2021
多晶硅生产尾气净化用活性炭中杂质含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
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团体标准
发布日期：
2021-03-19
CCS分类：
ICS分类：
65.020.01农业和林业综合
现行
T/CNIA 0102-2021
绿色设计产品评价技术规范 氮化硅粉体
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团体标准
发布日期：
2021-03-19
CCS分类：
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/CNIA 0016-2019
多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定 气相色谱法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-02-13
CCS分类：
G10/14无机化工原料
ICS分类：
77.040.01金属材料试验综合
现行
T/CNIA 0175-2022
多晶硅生产固定污染源含氢排气中气态污染物采样方法
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团体标准
发布日期：
2022-12-21
CCS分类：
ICS分类：
77.040.01金属材料试验综合
现行
T/CNIA 0141-2022
多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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团体标准
发布日期：
2022-02-28
CCS分类：
ICS分类：
77.040.01金属材料试验综合
现行
T/CNIA 0144-2022
半导体洁净环境用丁腈手套
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-02-28
CCS分类：
ICS分类：
83.140.01橡胶和塑料制品综合
现行
T/CNIA 0018-2019
多晶硅厂动火受限安全检测作业规范
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2019-02-13
CCS分类：
E10/19石油勘探、开发与集输
ICS分类：
13.100职业安全、工业卫生
现行
T/CNIA 0061-2020
硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2020-05-27
CCS分类：
L90/94电子设备与专用材料、零件、结构件
ICS分类：
77.040.01金属材料试验综合
【到馆阅览须知】
国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
1. 本馆向在国家数字标准馆网络平台上完成实名注册和预约的读者开放。
2. 请勿在非开放范围随意走动和从事与国家标准馆所提供服务无关的活动。
3. 请勿携带食品、有色和含糖饮料进入阅览区域。
4. 禁止在馆区内吸烟和使用明火，禁止携带易燃、易爆、有毒等危险品。
5. 请注意仪表着装，衣冠整洁得体，言谈举止文明。
6. 请遵守公共秩序和国家标准馆相关管理规定，服从工作人员管理，自觉维护参观秩序和良好的阅读环境。
开放时间：
每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：
北京市海淀区知春路4号
乘车线路：
乘坐地铁10号线、昌平线，在西土城站下车D口出后西行150米即可到达。
服务咨询：
赵老师 电话：010-58811369 邮箱：zhaoping@cnis.ac.cn
刘老师 电话：010-58811368 邮箱：liuyzh@cnis.ac.cn
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