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  • 标准号
  • 发布时间
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2023-10-23
CCS分类:
现行
T/CNIA 0017-2019
多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2019-02-13
现行
T/CNIA 0016-2019
多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定 气相色谱法
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2019-02-13
现行
T/CNIA 0175-2022
多晶硅生产固定污染源含氢排气中气态污染物采样方法
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-12-21
CCS分类:
现行
T/CNIA 0141-2022
多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-02-28
CCS分类:
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-02-28
CCS分类:
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2023-08-19
CCS分类:
现行
T/CNIA 0021-2019
绿色设计产品评价技术规范 多晶硅
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2019-02-13
CCS分类:K30/39低压电器
现行
T/CNIA 0143-2022
半导体材料痕量杂质分析用超纯树脂器皿
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2022-02-28
CCS分类:
现行
T/DZJN 299-2024
高纯多晶硅生产低碳清洁评价要求
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2024-09-10
CCS分类: