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GB/T 42895-2023
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
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Micro-electromechanical systems（MEMS）technology—Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2023-08-06
CCS分类：L59微型组件
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GB/T 42897-2023
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
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Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2023-08-06
CCS分类：L59微型组件
未生效
GB/T 44517-2024
微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-09-29
CCS分类：L59微型组件
现行
GB/T 44842-2024
微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法
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Micro-electromechanical systems （MEMS） technology—Bend testing methods of thin film materials
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-10-26
CCS分类：L59微型组件
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