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起草单位: 江苏鑫华半导体材料科技有限公司
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T/ICMTIA SM0028-2022
集成电路用电子级多晶硅
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-05-10
CCS分类：
现行
GB/T 24581-2022
硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
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Test method for Ⅲ and Ⅴ impurities content in single crystal silicon—Low temperature FT-IR analysis method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2022-03-09
现行
T/ICMTIA BS0030-2022
集成电路材料产品分类
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-07-04
CCS分类：
现行
T/ICMTIA CM0035-2023
半导体硅材料制程装置用密封垫片
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-03-10
CCS分类：
现行
T/ICMTIA BS0029-2022
集成电路材料产品成熟度等级划分及定义
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-07-04
CCS分类：
现行
T/CNIA 0141-2022
多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-02-28
CCS分类：
现行
GB/T 38907-2020
节水型企业 多晶硅行业
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Water saving enterprises—Polysilicon industry
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2020-06-02
CCS分类：P01技术管理
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