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现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2024-09-09
CCS分类:Z环境保护
未生效
GB/T 24578-2024
半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法
Test method for measuring surface metal contamination on semiconductor wafers —Total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-07-24
现行
Test methods for determining the orientation of a semiconductive single crystal
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
现行
GB/T 6616-2023
半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法
Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
现行
Test method for gloss of silicon wafer
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
现行
GB/T 1553-2023
硅和锗体内少数载流子寿命的测定 光电导衰减法
Test methods for minority carrier lifetime in bulk silicon and germanium—Photoconductivity decay method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
现行
GB/T 1558-2023
硅中代位碳含量的红外吸收测试方法
Test method for substitutional carbon content in silicon by infrared absorption
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-12-28
现行
GB/T 42676-2023
半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
现行
Electronic gas—Tetrafluoromethane
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-04-25
现行
Electronic-grade polycrystalline silicon
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2022-12-30