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现行
T/CASAS 026-2023
碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2023-06-19
CCS分类:
ICS分类:
现行
T/CASAS 032-2023
碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2023-06-19
CCS分类:
ICS分类:
现行
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2021-03-08
CCS分类:D00/09矿业综合
现行
T/CASAS 025-2023
8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
发布单位或类别:团体标准
发布日期: 2023-06-19
CCS分类:
ICS分类:
未生效
GB/T 44536-2024
CVD陶瓷涂层热膨胀系数和残余应力试验方法
Test method for determining thermal expansion coefficient and residual stress of CVD ceramic coatings
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-09-29
现行
Silicon carbide epitaxial wafers
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-04-25
现行
GB/T 43894.1-2024
半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分:高度径向二阶导数法(ZDD)
Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric(ZDD)
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-04-25
现行
GB/T 43493.1-2023
半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分:缺陷分类
Semiconductor device—Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices—Part 1: Classification of defects
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-12-28
现行
GB/T 42905-2023
碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法
Test method for thickness of silicon carbide epitaxial layer—Infrared reflectance method
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2023-08-06
未生效
GB/T 24578-2024
半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法
Test method for measuring surface metal contamination on semiconductor wafers —Total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-07-24