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现行
T/ICMTIA CM0035-2023
半导体硅材料制程装置用密封垫片
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-03-10
CCS分类：
现行
T/ICMTIA SM0028-2022
集成电路用电子级多晶硅
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-05-10
CCS分类：
现行
GB/T 24582-2023
多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法
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Test method for measuring surface metal impurity content of polycrystalline silicon—Acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2023-08-06
现行
GB/T 12963-2022
电子级多晶硅
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Electronic-grade polycrystalline silicon
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2022-12-30
现行
GB/T 29057-2023
用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
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Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2023-08-06
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  • 《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。
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