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正在审查
20204111-T-339
半导体器件 微电子机械器件 第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing
发布单位或类别:国家标准计划
下达日期: 2020-11-19
现行
GB/T 44529-2024
微机电系统(MEMS)技术 射频MEMS环行器和隔离器
Micro-electromechanical systems(MEMS)technology—Radio frequency MEMS circulators and isolators
发布单位或类别:国家标准
发布日期: 2024-09-29
CCS分类:L59微型组件
正在批准
20204116-T-339
半导体器件 微电子机械器件 第2部分:薄膜材料拉伸试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part2: Tensile testing method of thin film materials
发布单位或类别:国家标准计划
下达日期: 2020-11-19