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现行
GB/T 38341-2019
微机电系统(MEMS)技术　MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
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Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2019-12-31
CCS分类：L55微电路综合
现行
T/QGCML 2353-2023
混酸
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-11-28
CCS分类：
ICS分类：71.060.30酸
现行
GB/T 26111-2023
微机电系统（MEMS）技术 术语
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Micro-electromechanical system technology—Terms
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2023-05-23
CCS分类：L59微型组件
现行
GB/T 38446-2020
微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
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Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2020-03-06
CCS分类：L55微电路综合
未生效
GB/T 44513-2024
微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法
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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-09-29
CCS分类：L59微型组件
现行
GB/T 44842-2024
微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法
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Micro-electromechanical systems （MEMS） technology—Bend testing methods of thin film materials
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-10-26
CCS分类：L59微型组件
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