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T/JSQA 127-2022
光刻机用超高压短弧曝光光源
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-03-03
CCS分类：
K电工
ICS分类：
29.140.30荧光灯、放电灯
现行
T/CZZMXH 010-2024
193 nm紫外灯及光源系统辐射特性测量方法
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2024-01-16
CCS分类：
ICS分类：
29.140.30荧光灯、放电灯
现行
T/CZZMXH 009-2024
周边曝光用超高压短弧紫外灯
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发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2024-01-16
CCS分类：
ICS分类：
29.140.30荧光灯、放电灯
现行
QB/T 4145-2010
仪器灯泡 第4部分：单色低压钠灯
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发布单位或类别：
行业标准-轻工
发布日期：
2010-12-29
CCS分类：
K71电光源产品
ICS分类：
29.140.30荧光灯、放电灯
现行
QB/T 4540-2013
超高压短弧汞灯
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Super high pressure short-arc mercury lamp
发布单位或类别：
行业标准-轻工
发布日期：
2013-10-17
CCS分类：
K71电光源产品
ICS分类：
29.140.30荧光灯、放电灯
现行
QB/T 2943-2008
碘镓灯
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Gallium iodide lamps
发布单位或类别：
行业标准-轻工
发布日期：
2008-02-01
CCS分类：
K71电光源产品
ICS分类：
29.140.30荧光灯、放电灯
现行
GB/T 15041-2008
高压短弧氙灯
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High pressure short arc xenon lamps
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2008-12-30
CCS分类：
K71电光源产品
ICS分类：
29.140.30荧光灯、放电灯
现行
GB/T 23141-2008
光化学、光老化长弧氙灯
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Long-arc xenon lamps for photo-chemistry and photo-aging
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2008-12-30
CCS分类：
K71电光源产品
ICS分类：
29.140.30荧光灯、放电灯
现行
GB/T 23145-2008
短弧投光金属卤化物灯
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Short arc projector metal halide lamps
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2008-12-30
CCS分类：
K71电光源产品
ICS分类：
29.140.30荧光灯、放电灯
【到馆阅览须知】
国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
1. 本馆向在国家数字标准馆网络平台上完成实名注册和预约的读者开放。
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3. 请勿携带食品、有色和含糖饮料进入阅览区域。
4. 禁止在馆区内吸烟和使用明火，禁止携带易燃、易爆、有毒等危险品。
5. 请注意仪表着装，衣冠整洁得体，言谈举止文明。
6. 请遵守公共秩序和国家标准馆相关管理规定，服从工作人员管理，自觉维护参观秩序和良好的阅读环境。
开放时间：
每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：
北京市海淀区知春路4号
乘车线路：
乘坐地铁10号线、昌平线，在西土城站下车D口出后西行150米即可到达。
服务咨询：
赵老师 电话：010-58811369 邮箱：zhaoping@cnis.ac.cn
刘老师 电话：010-58811368 邮箱：liuyzh@cnis.ac.cn
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