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GB/T 25915.12-2021
洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
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Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2021-10-11
现行
GB/T 25915. 12-2021
洁净室及相关受控环境 第 12 部分: 监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
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Cleanrooms and associated controlled environments-Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2021-10-11
ICS分类：
现行
GB/T 40868-2021
纳米尺度科研生产受控环境规划与设计
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Planning and design of controlled environments for research and production at the nanometer scale
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2021-10-11
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