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T/ICMTIA BS0030-2022
集成电路材料产品分类
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-07-04
CCS分类：
现行
T/ICMTIA BS0029-2022
集成电路材料产品成熟度等级划分及定义
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-07-04
CCS分类：
现行
T/ICMTIA SM0028-2022
集成电路用电子级多晶硅
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-05-10
CCS分类：
现行
T/ICMTIA BS0032-2023
集成电路材料供应商质量评价指标
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-03-01
CCS分类：
现行
YS/T 985-2014
硅抛光回收片
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Polished reclaimed silicon wafers
发布单位或类别：行业标准-有色金属
发布日期： 2014-10-14
被代替
GB/T 26068-2010
硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
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Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2011-01-10
被代替
GB/T 12964-2003
硅单晶抛光片
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Monocrystalline silicon polished wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2003-06-16
现行
GB/T 26068-2018
硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
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Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2018-12-28
现行
GB/T 30453-2013
硅材料原生缺陷图谱
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Metallographs collection for original defects of crystalline silicon
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2013-12-31
现行
T/ICMTIA BS0032-2024
集成电路材料供应商质量评价指标
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2023-03-01
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