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T/BSIA 005-2022
信息技术 数据流程服务技术规范 第 2 部分 技术评价
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-12-05
CCS分类：
现行
SJ 21266-2018
MEMS 陀螺仪测试方法
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Test methods for MEMS gyroscope
发布单位或类别：行业标准-电子
发布日期： 2018-01-18
CCS分类：
ICS分类：
现行
GB/T 41853-2022
半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量
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Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Wafer to wafer bonding strength measurement
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2022-10-12
CCS分类：L55微电路综合
现行
T/BSIA 004-2022
信息技术 数据流程服务技术规范 第 1 部分 通用技术
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-12-05
CCS分类：
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