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现行
T/CNIA 0064-2020
多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2020-05-27
现行
YB/T 4590-2017
硅材料用高纯石墨制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
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Determination of multi-element contents in high purity graphite used for silicon material-Inductively coupled plasma atomic emission spectrographic method
发布单位或类别：行业标准-黑色冶金
发布日期： 2017-04-12
CCS分类：Q51石墨材料
ICS分类：29.050导体材料
现行
YS/T 1164-2016
硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定　电感耦合等离子体发射光谱法
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Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
发布单位或类别：行业标准-有色金属
发布日期： 2016-07-11
CCS分类：Q35石英玻璃
ICS分类：81.040玻璃
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