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20231006-T-469
电子气体 砷化氢
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Electronic gas—Arsine
发布单位或类别：国家标准计划
下达日期： 2023-12-01
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20231001-T-469
电子气体 一氧化二氮
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Electronic gas—Nitrous oxide
发布单位或类别：国家标准计划
下达日期： 2023-12-01
现行
GB/T 43976-2024
电子气体 四氟甲烷
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Electronic gas—Tetrafluoromethane
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2024-04-25
正在审查
20231011-T-469
电子气体 六氟化硫
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Electronic gas—Sulphur hexaflouride
发布单位或类别：国家标准计划
下达日期： 2023-12-01
现行
T/ICMTIA ESG0031-2022
集成电路用电子特种气体产品通用规范
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-07-04
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