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起草人: 邱永鑫
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GB/T 32188-2015
氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
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The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2015-12-10
现行
GB/T 32189-2015
氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
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Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2015-12-10
现行
GB/T 41751-2022
氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法
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Test method for radius of curvature of crystal plane in GaN single crystal substrate wafers
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2022-10-12
现行
GB/T 36705-2018
氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
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Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2018-09-17
现行
GB/T 32282-2015
氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法
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Test method for disoclation density of GaN single crystal—Cathodoluminescence spectroscopy
发布单位或类别：国家标准
发布日期： 2015-12-10
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