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T/CNIA 0017-2019
多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2019-02-13
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T/CNIA 0102-2021
绿色设计产品评价技术规范 氮化硅粉体
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2021-03-19
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T/CNIA 0016-2019
多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定 气相色谱法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2019-02-13
现行
T/CNIA 0175-2022
多晶硅生产固定污染源含氢排气中气态污染物采样方法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-12-21
CCS分类：
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T/CNIA 0141-2022
多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-02-28
CCS分类：
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T/CNIA 0144-2022
半导体洁净环境用丁腈手套
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2022-02-28
CCS分类：
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T/CNIA 0018-2019
多晶硅厂动火受限安全检测作业规范
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2019-02-13
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T/CNIA 0061-2020
硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2020-05-27
现行
T/CESA 1082-2020
多晶硅制造业绿色工厂评价要求
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发布单位或类别：团体标准
发布日期： 2020-06-20
现行
T/CNIA 0020-2019
氯硅烷歧化反应用树脂催化剂中杂质含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
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发布日期： 2019-02-13
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