登 录
注 册
个人中心
退出账号
首页
馆藏资源
舆情信息
标准服务
科研活动
关于我们
国家标准
行业标准
地方标准
团体标准
国际（区域）标准
国外国家标准
国际性专业标准
技术法规
国内舆情
国际舆情
文献服务
知识服务
服务站点
标准数字化
技贸措施研究
国家标准馆
国家数字标准馆
发展大事记
搜索
高级检索
批量检索
高级检索
归口单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
标准层级
全部
国家标准
行业标准
地方标准
团体标准
国际（区域）标准
国外国家标准
国际性专业标准
技术法规
国家
全部
中国(40)
标准组织
全部
团体标准(40)
发布年代
全部
2024(2)
2023(5)
2022(22)
2021(3)
2020(6)
2019(2)
标准状态
全部
现行(40)
ICS
全部
01综合、术语学、标准化、文献(22)
03社会学、 服务、公司(企业)的组织和管理、行政、运输(2)
21机械系统和通用件(1)
29电气工程(9)
71化工技术(4)
77冶金(1)
CCS
全部
G化工(6)
L电子元器件与信息技术(3)
展开全部分类
排序结果：
相关性
标准号
发布时间
现行
T/ICMTIA ESG0034-2023
集成电路用混合气体 20%氟/氮
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2023-03-01
CCS分类：
ICS分类：
71.100.20工业气体
现行
T/ICMTIA BS0032-2023
集成电路材料供应商质量评价指标
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2023-03-01
CCS分类：
ICS分类：
03.100.99有关公司(企业)组织管理的其他标准
现行
T/ICMTIA CMP0037-2023
集成电路用聚氨酯类化学机械抛光垫
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2023-03-01
CCS分类：
ICS分类：
现行
T/ICMTIA CM0038-2024
半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2024-04-25
CCS分类：
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/ICMTIA TG0036-2023
集成电路用高纯铝钪合金靶材
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2023-03-01
CCS分类：
ICS分类：
77.120.10铝和铝合金
现行
T/ICMTIA SM0028-2022
集成电路用电子级多晶硅
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-05-10
CCS分类：
ICS分类：
01.020术语学(原则和协调配合)
现行
T/ICMTIA ESG0019-2022
集成电路用气体 二氟甲烷
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-05-10
CCS分类：
ICS分类：
01.020术语学(原则和协调配合)
现行
T/ICMTIA 4.2-2020
集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类
到馆阅读
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2020-12-31
CCS分类：
G30合成材料综合
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
T/ICMTIA ESG0015-2022
集成电路用气体 氘
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-04-08
CCS分类：
ICS分类：
01.020术语学(原则和协调配合)
现行
T/ICMTIA ESG0025-2022
集成电路用气体 氯气
到馆提醒
收藏跟踪
分享链接
微信扫一扫：分享
微信里点“发现”，扫一下
二维码便可将本文分享至朋友圈。
发布单位或类别：
团体标准
发布日期：
2022-05-10
CCS分类：
ICS分类：
01.020术语学(原则和协调配合)
【到馆阅览须知】
国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
1. 本馆向在国家数字标准馆网络平台上完成实名注册和预约的读者开放。
2. 请勿在非开放范围随意走动和从事与国家标准馆所提供服务无关的活动。
3. 请勿携带食品、有色和含糖饮料进入阅览区域。
4. 禁止在馆区内吸烟和使用明火，禁止携带易燃、易爆、有毒等危险品。
5. 请注意仪表着装，衣冠整洁得体，言谈举止文明。
6. 请遵守公共秩序和国家标准馆相关管理规定，服从工作人员管理，自觉维护参观秩序和良好的阅读环境。
开放时间：
每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：
北京市海淀区知春路4号
乘车线路：
乘坐地铁10号线、昌平线，在西土城站下车D口出后西行150米即可到达。
服务咨询：
赵老师 电话：010-58811369 邮箱：zhaoping@cnis.ac.cn
刘老师 电话：010-58811368 邮箱：liuyzh@cnis.ac.cn
取消
确认预约到馆
搜索
首页
馆藏资源
舆情信息
标准服务
科研活动
关于我们
️版权归中国标准化研究院所有