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SJ/T 11762-2020
半导体设备制造信息标识要求
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2020-12-09
CCS分类：
L95电子工业生产设备综合
ICS分类：
31.080.01半导体器分立件综合
现行
SJ/T 3328.2-2016
电子产品用高纯石英砂 第2部分 分析方法通则
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2016-01-15
CCS分类：
L90电子技术专用材料
ICS分类：
31.030电子技术专用材料
现行
SJ/T 3328.10-2016
电子产品用高纯石英砂 第10部分 铅的测定
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2016-01-15
CCS分类：
L90电子技术专用材料
ICS分类：
31.030电子技术专用材料
现行
SJ/T 11761-2020
200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2020-12-09
CCS分类：
L95电子工业生产设备综合
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
SJ/T 3328.7-2016
电子产品用高纯石英砂 第7部分 铬的测定
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2016-01-15
CCS分类：
L90电子技术专用材料
ICS分类：
31.030电子技术专用材料
现行
SJ/T 3328.6-2016
电子产品用高纯石英砂 第6部分 铜的测定
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2016-01-15
CCS分类：
L90电子技术专用材料
ICS分类：
31.030电子技术专用材料
现行
SJ/T 3328.8-2016
电子产品用高纯石英砂 第8部分 铝的测定
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2016-01-15
CCS分类：
L90电子技术专用材料
ICS分类：
31.030电子技术专用材料
现行
SJ/T 11763-2020
半导体制造设备人机界面规范
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发布单位或类别：
行业标准-电子
发布日期：
2020-12-09
CCS分类：
L95电子工业生产设备综合
ICS分类：
13.180人类工效学
现行
GB/T 26071-2018
太阳能电池用硅单晶片
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Monocrystalline silicon wafers for solar cells
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2018-09-17
CCS分类：
H82元素半导体材料
ICS分类：
29.045半导体材料
现行
GB/T 29505-2013
硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
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Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer
发布单位或类别：
国家标准
发布日期：
2013-05-09
CCS分类：
H80半金属与半导体材料综合
ICS分类：
29.045半导体材料
【到馆阅览须知】
国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号，可接待到馆读者，为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
1. 本馆向在国家数字标准馆网络平台上完成实名注册和预约的读者开放。
2. 请勿在非开放范围随意走动和从事与国家标准馆所提供服务无关的活动。
3. 请勿携带食品、有色和含糖饮料进入阅览区域。
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5. 请注意仪表着装，衣冠整洁得体，言谈举止文明。
6. 请遵守公共秩序和国家标准馆相关管理规定，服从工作人员管理，自觉维护参观秩序和良好的阅读环境。
开放时间：
每周一至周五8:30-17:00（节假日不开放）
地 址：
北京市海淀区知春路4号
乘车线路：
乘坐地铁10号线、昌平线，在西土城站下车D口出后西行150米即可到达。
服务咨询：
赵老师 电话：010-58811369 邮箱：zhaoping@cnis.ac.cn
刘老师 电话：010-58811368 邮箱：liuyzh@cnis.ac.cn
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