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IEC 62047-38:2021
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 38: Test method for adhesion strength of metal powder paste in MEMS interconnection
半导体器件.微机电器件.第38部分:MEMS互连中金属粉末膏体粘附强度的试验方法
发布单位或类别:国际电工委员会
发布日期: 2021-06-23
CCS分类:
现行
IEC 62047-1:2016
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
半导体器件 - 微机电器件 - 第1部分:术语和定义
发布单位或类别:国际电工委员会
发布日期: 2016-01-06
CCS分类:
现行
IEC 62047-27:2017
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 27: Bond strength test for glass frit bonded structures using micro-chevron-tests (MCT)
半导体器件 - 微机电器件 - 第27部分:使用微人造橡胶试验(MCT)的玻璃料接合结构的结合强度试验
发布单位或类别:国际电工委员会
发布日期: 2017-01-20
CCS分类:
现行
IEC 62047-28:2017
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices
半导体器件 - 微机电器件 - 第28部分:振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法
发布单位或类别:国际电工委员会
发布日期: 2017-01-20
CCS分类:
现行
IEC 62047-12:2011
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
半导体器件 - 微机电器件 - 第12部分:使用谐振器振荡的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法
发布单位或类别:国际电工委员会
发布日期: 2011-09-13
CCS分类:
现行
IEC 62047-47:2024
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 47: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of bending strength of microstructures
半导体器件.微机电器件.第47部分:硅基MEMS制造技术.微结构弯曲强度的测量方法
发布单位或类别:国际电工委员会
发布日期: 2024-08-23
CCS分类:
现行
IEC 62047-30:2017
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
半导体器件 - 微机电器件 - 第30部分:MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法
发布单位或类别:国际电工委员会
发布日期: 2017-09-15
CCS分类:
现行
IEC 62047-4:2008
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS
半导体器件 - 微机电器件第4部分:Mems的通用规范
发布单位或类别:国际电工委员会
发布日期: 2008-08-21
CCS分类:
现行
IEC 62047-13:2012
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend - and shear - type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures
半导体器件 - 微机电器件 - 第13部分:测量MEMS结构的粘合强度的弯曲和剪切型测试方法
发布单位或类别:国际电工委员会
发布日期: 2012-02-28
CCS分类:
现行
IEC 62047-5:2011
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches
半导体器件 - 微机电器件 - 第5部分:RF MEMS开关
发布单位或类别:国际电工委员会
发布日期: 2011-07-13
CCS分类: