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실리콘 단결정 및 실리콘 웨이퍼의 4탐침법에 의한 저항률 측정 방법 具有四点探针的硅晶体和硅晶片的电阻率测试方法
发布日期: 2002-05-29
该规格为硅单晶(以下简称单晶)。及硅晶圆(以下简称晶圆)的直流四探针法规定电阻率的测量方法。
이 규격은 실리콘 단결정(이하 단결정이라 한다.) 및 실리콘 웨이퍼(이하 웨이퍼라 한다.)의 직류 4탐침법에 의한 저항률의 측정 방법에 대하여 규정한다.
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