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工业MEMS测试平台建设规范
发布日期: 2025-03-15
实施日期: 2025-03-20
范围:本文件规定了工业MEMS测试平台(以下简称平台)的建设要求、核心组成、测试要求等内容。 本文件适用于工业类MEMS器件的基础性测试、验收工作; 主要技术内容:本文件规定了工业MEMS测试平台(以下简称平台)的建设要求、核心组成、测试要求等内容
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