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现行 KS I ISO 14644-5-2020
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클린룸 및 제어된 환경 — 제5부: 운영 洁净室和相关控制环境 - 第5部分:操作
发布日期: 2020-12-30
该标准说明了洁净室工作的基本要求条件。
이 표준은 클린룸의 작업에 관한 기본적인 요구 조건을 설명한다.
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