本标准适用于测量极紫外辐射的特性的装置 - 用于测量辐照度和在波长范围内的1-10纳米的曝光剂量辐射计（剂量计）的EUV辐射，并且设置它们的验证的方法。    测量工具在1的范围内提供的波长的UV辐射的特性 - 10nm的DE测量的动态范围，下限其中小于10-7Ĵ上 - 至少2•10-1 J和EO中的动态范围，其下限值没有超过0.01 W /平方米，所述上 - 至少20瓦/米。    重新校准间隔 - 一年

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик экстремального ультрафиолетового излучения - радиометры (дозиметры) ЭУФ излучения, используемые для измерений энергетической освещенности и экспозиционной дозы в диапазоне длин волн 1-10 нм, и устанавливает методику их поверки. Средства измерений характеристик УФ излучения обеспечивают в диапазоне длин волн 1 - 10 нм измерения ЭД в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10-7 Дж, верхняя – не менее 2•10-1 Дж и ЭО в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0,01 Вт/м кв., верхняя – не менее 20 Вт/м кв. Межповерочный интервал – один год.