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现行 KS C 6565-2002(2017)
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반도체 가속도 센서의 시험 방법 半导体加速度传感器的测试方法
发布日期: 2002-08-31
该规格适用由照相蚀刻技术(照片排印术)制成的硅半导体加速度计。另外,该规格还包括多轴加速度计。
이 규격은 사진 식각 기술(포토리소그래피)에 의해서 만들어진 실리콘 반도체 가속도계를 적용한다. 또한 이 규격은 다중축 가속도계를 포함한다.
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