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现行 T/ZS 0344-2022
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数字化无掩模激光直写光刻机
发布日期: 2022-11-10
实施日期: 2022-11-17
主要技术内容:前言1 范围2 规范性引用文件3 术语和定义4 产品分类5 工作环境6 要求6.1 外观、尺寸和重量6.2 主要性能6.3 安全要求6.4 噪声7 试验方法7.1 试验条件7.2 外观检查及尺寸、重量测量7.3 性能试验7.4 安全检查7.5 噪声试验8 检验规则8.1 检验分类8.2 出厂检验8.3 型式检验8.4 判定规则9 标志、包装、运输、贮存9.1 标志9.2 包装9.3 运输9.4 贮存
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