T/GVS 014-2024-半导体设备用低温泵评价规范-国家数字标准馆

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半导体设备用低温泵评价规范

发布日期： 2024-08-02

实施日期： 2024-08-02

范围:本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价;
主要技术内容:规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： J机械

ICS分类： 23.160流体系统和通用件 - 真空技术

关联关系

研制信息

归口单位：广东省真空学会

起草单位：中山凯旋真空科技股份有限公司、上海纳乇真空技术有限公司、中国科学技术大学、散裂中子源科学中心、中山市深中标准质量研究中心、佛仪科技（佛山）有限公司、佛山力合创新中心有限公司

起草人：胡湘娥、黎树中、李晓刚、叶俊文、王鹏程、胡勇、王楠茜、陈淑曲、余彦飞、肖永能、林涛、欧慧敏

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