真空技术 涡轮分子泵 急停扭矩的测试
Vacuum technology—Turbomolecular pumps—Measurement of rapid shutdown torque
发布日期:
2017-05-12
实施日期:
2017-12-01
本标准规定了一种涡轮分子泵急停扭矩(破坏扭矩)的测试方法。此扭矩由轴流叶片或螺旋通道产生的气体冲力产生。导致分子泵破坏的主要破坏力是以转子轴线为中心的扭矩。其他可能发生的较小力和扭矩不在本标准范围内。有两种破坏形式:碎泵急速跌落和转子刮蹭跌落,本标准均适用。涡轮分子泵和拖动分子泵可以使用相同的测试方法
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