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KS D ISO 14594-2018
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마이크로빔 분석 — 전자 탐침 미소분석 — 파장 분산 분광분석에서 실험 변수 결정 지침
微束分析 - 电子探针微量分析 - 波长色散光谱实验参数测定指南
该标准是利用电子探针微小分析仪进行实验时,有关试片(sample)、波长分光仪、一次束的实验变量的一般指南。此外,该标准还说明了决定束电流、电流密度、不感时间、波长分辨力、本底值、分析面积、分析深度、分析体积的步骤。该标准不是为适用于能量分散X射线光谱仪而制定的。该标准不是为适用于能量分散X射线光谱仪而制定的。
이 표준은 전자 탐침 미소분석기를 이용하여 실험할 때 시편(sample), 파장 분광기, 일차 빔과 관련된 실험 변수들에 대한 일반적인 지침서이다. 또한 이 표준은 빔 전류, 전류밀도, 불감시간, 파장 분해능, 바탕값, 분석 면적, 분석 깊이, 분석 부피를 결정하는 절차를 설명한다.이 표준은 에너지분산 X-선 분광기에 적용하도록 작성된 것은 아니다.이 표준은 에너지분산 X-선 분광기에 적용하도록 작성된 것은 아니다.
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