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声表面波器件用单晶薄膜基片
发布日期: 2022-08-11
实施日期: 2022-10-15
范围:本文件规定了声表面波器件用单晶薄膜基片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标签/标识、储存和运输。 本文件适用于声表面波器件用单晶薄膜基片; 主要技术内容:本文件规定了声表面波器件用单晶薄膜基片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标签/标识、储存和运输。本文件适用于声表面波器件用单晶薄膜基片
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