YS/T 1290-2018-多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法-国家数字标准馆

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多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法 Determination of silane content in tail gas of polycrystalline silicon production-Gas chromatographic method

发布日期： 2018-10-22

实施日期： 2019-04-01

本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-有色金属

CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法

ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验

关联关系

研制信息

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

起草单位：内蒙古神舟硅业有限责任公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、四川永祥多晶硅有限公司

起草人：刘淑萍、宗凤云、李辉、赵英杰、胡议允、姚利忠、宋杨

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