GB/T 26113-2010-微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则-国家数字标准馆

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微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则 Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

发布日期： 2011-01-10

实施日期： 2011-10-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： L55电子元器件与信息技术 - 微电路 - 微电路综合

ICS分类： 31.200电子学 - 集成电路、微电子学

关联关系

研制信息

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

起草单位：中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院

起草人：丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱

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