20231009-T-469-电子气体卤化物气体-国家数字标准馆

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电子气体卤化物气体 Electronic gas—halide gas

下达日期： 2023-12-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准计划

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：昊华气体有限公司西南分公司、浙江省化工研究院有限公司、大连科利德光电子材料有限公司、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、空气化工产品（中国）投资有限公司

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