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KS B 5648-2002(2022)
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질량 분석계를 이용한 압력 및진공 용기 누출 시험 방법
使用质谱仪的压力试验方法和真空容器泄漏检测方法
该标准规定,为了探测泄漏,使用探测气体,使用与使用的探测气体适当调整的质量分析计作为检测器,并给出系统测量的泄漏合值的泄漏测量和寻找泄漏率、泄漏缝隙。为此,探测气体必须包围所有接触面,检测器必须在另一侧测量探测气体的浓度。
이 표준은 누출 탐지를 위해서 탐지 기체를 사용하고, 사용하는 탐지 기체에 알맞게 조정된 질량 분석계를 검지기로 사용하며 시스템에서 측정되는 누출합 값을 주는 누출 측정과 누출률, 누출 틈을 찾는 것에 관한 규정이다. 이를 위해서 탐지 기체는 모든 접촉면을 둘러싸야 하며, 검지기는 반대편 에서 탐지 기체의 농도를 측정해야 한다.
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