GB/T 6617-1995-硅片电阻率测定　扩展电阻探针法-国家数字标准馆

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硅片电阻率测定　扩展电阻探针法 Test method for measuring resistivity of silicon wafers using spreading resistance probe

发布日期： 1995-04-18

实施日期： 1995-12-01

废止日期： 2010-06-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： H21冶金 - 金属理化性能试验方法 - 金属物理性能试验方法

ICS分类： 77.120冶金 - 有色金属

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：上海有色金属研究所

起草人：施海青、张建宇、夏锦禄

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