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被代替 GB/T 14143-1993
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300~900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法 300~900μm Silicon slices—Measuring of interstitial oxygen content—Infrared absorption method
发布日期: 1993-02-06
实施日期: 1993-10-01
废止日期: 2006-12-31
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