首页 馆藏资源 舆情信息 标准服务 科研活动 关于我们
现行 ГОСТ 25661-83
到馆提醒
收藏跟踪
购买正版
Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования 最终水处理装置 一般技术要求
实施日期: 1984-01-01
本标准适用于发往的水去离子水净化装置光洁度,然后灭菌和原位使用微粒和微生物的纯化在微电子集成4的制造
Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции
分类信息
关联关系
研制信息
相似标准/计划/法规