Изделия микросистемной техники. Элементы чувствительные микроэлектромеханических преобразователей физических величин. Общие технические условия
微系统技术产品 物理量微电子换能器的敏感元件 通用规格
Настоящий стандарт распространяется на чувствительные элементы, разрабатываемые и поставляемые в качестве компонентов микроэлектромеханических преобразователей физических величин производственно-технического назначения.
Настоящий стандарт не распространяется на чувствительные элементы, предназначенные для применения в пьезоэлектрических приборах