GB/T 32281-2015-太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定二次离子质谱法-国家数字标准馆

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太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定二次离子质谱法 Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry

发布日期： 2015-12-10

实施日期： 2017-01-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法

ICS分类： 77.040.30金属材料试验 - 金属材料化学分析

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司、宁夏银星多晶硅有限责任公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、新特能源股份有限公司

起草人：薛抗美、夏根平、肖宗杰、盛之林、范占军、蒋建国、林清香、徐自亮、王泽林、宋高杰、刘国霞

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