KS D ISO 16700-2013(2018)-微束分析－扫描电子显微镜－图像放大率校准指南 -国家数字标准馆

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마이크로빔 분석－주사전자현미경－영상 배율 교정 지침 微束分析－扫描电子显微镜－图像放大率校准指南

发布日期： 2013-06-05

该标准具体描述了如何使用适当的标准物质校正扫描电子显微镜图像的倍率。该方法仅限于校准用标准物质所能提供的大小范围的倍率。该标准不适用于测量临界尺寸的SEM（CD-SEM）。

이 표준은 적절한 표준물질을 사용하여 주사전자현미경 영상의 배율을 교정하는 방법을 구체적으로 기술한다. 이 방법은 교정용 표준물질이 제공할 수 있는 크기범위의 배율에 국한한다. 이 표준은 임 계치수 측정용 SEM (CD-SEM)에는 적용되지 않는다.

分类信息

发布单位或类别：韩国-韩国标准

ICS分类： 37.020成像技术 - 光学设备

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