ГОСТ Р 8.627-2007-用于确定测量一致性的状态系统紫外线辐射常规和漫透射系数的测量测量方法-国家数字标准馆

现行 ГОСТ Р 8.627-2007

到馆阅读

收藏跟踪

购买正版

Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений 用于确定测量一致性的状态系统紫外线辐射常规和漫透射系数的测量测量方法

实施日期： 2007-07-01

本标准适用于测量用于确定材料和薄膜，镜面反射系数，以及衍射光栅的效率的光学常数VUV辐射的范围镜面反射和漫反射的系数的技术，和在微电子技术工艺的控制下

Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике

分类信息

发布单位或类别：俄罗斯-俄罗斯国家标准

CCS分类： L00/09电子元器件与信息技术 - 电子元器件与信息技术综合

ICS分类： 17.020计量学和测量、物理现象 - 计量学和测量综合

关联关系

研制信息

起草单位： Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП "ВНИИОФИ")

相似标准/计划/法规

GOST R 8.563-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Методики (методы) измерений
确保测量一致性的状态系统测量程序

GOST 8.543-1986

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений деформации
确保测量一致性的状态系统测量变形手段的状态验证计划

GOST 8.558-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений температуры
确保测量一致性的状态系统用于测量温度的状态验证计划

GOST R 8.732-2011

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений индуктивности
确保测量一致性的状态系统用于测量电感的状态验证计划

GOST 8.024-2002

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений плотности
确保测量一致性的状态系统密度测量手段的状态验证计划

GOST R 8.559-1994

Государственная система обеспечения единства измерений. Лазеры измерительные. Методика поверки
确保测量一致性的状态系统测量激光验证方法

GOST 8.010-2013

Государственная система обеспечения единства измерений. Методики выполнения измерений. Основные положения
确保测量一致性的状态系统测量程序主要原则

GOST 8.637-2013

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений массового расхода многофазных потоков
确保测量一致性的状态系统多相流测量工具的状态验证计划

GOST 8.539-1985

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений разрешающей способности фотоматериалов
确保测量一致性的状态系统用于测量光物质分辨率的状态验证计划

GOST 8.477-1982

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений уровня жидкости
确保测量一致性的状态系统液位测量装置的状态验证计划

GOST 8.547-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений влажности газов
确保测量一致性的状态系统用于测量气体湿度的状态验证计划

GOST 8.583-2011

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений показателя преломления
确保测量一致性的状态系统用于测量折射率仪器的状态验证计划

GOST R 8.752-2011

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений крутящего момента силы
确保测量一致性的状态系统用于测量力矩力的状态验证计划

GOST R 8.762-2011

Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений коэффициента гармоник
确保测量一致性的状态系统用于测量失真系数的状态验证计划

GOST R 8.000-2015

Государственная система обеспечения единства измерений. Основные положения
确保测量一致性的状态系统基本原则

GOST R 8.818-2013

Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений и системы измерительные виртуальные. Общие положения
确保测量一致性的状态系统虚拟测量仪器和虚拟测量系统一般原则

GOST R 8.674-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Общие требования к средствам измерений и техническим системам и устройствам с измерительными функциями
确保测量一致性的状态系统具有测量功能的测量仪器和系统和设备的一般要求

GOST R 8.596-2002

Государственная система обеспечения единства измерений. Метрологическое обеспечение измерительных систем. Основные положения
确保测量一致性的状态系统测量系统的计量保证主要原则

GOST 8.009-1984

Государственная система обеспечения единства измерений. Нормируемые метрологические характеристики средств измерений
确保测量一致性的状态系统测量仪器的标准化计量特性

GOST 8.567-2014

Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения времени и частоты. Термины и определения
确保测量一致性的状态系统时间和频率测量术语和定义

《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。

专题数据库

标准管理系统

大数据分析系统

标准智能研制系统