T/CHBAS 33-2023-集成电路用混合气体 4.5%氯化氢/0.9%氢/氖-国家数字标准馆

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集成电路用混合气体 4.5%氯化氢/0.9%氢/氖

发布日期： 2023-07-27

实施日期： 2023-07-27

主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖的技术要求、试验方法、检验规则、标志、 标签、 包装、运输、贮存和安全的要求。本文件适用于集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖（以下简称4.5%氯化氢/0.9%氢/氖），其它组分比例的氯化氢/氢/氖混合气可参照执行

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 99

关联关系

研制信息

归口单位：河北省标准化协会

起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所、中国质量协会

起草人：殷越玲、贾宣东、李帅楠、李旭、魏晓娟、王蒙蒙、袁攀攀、吴冉冉

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