YS/T 1600-2023-碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法-国家数字标准馆

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碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

发布日期： 2023-04-21

实施日期： 2023-11-01

本文件适用于碳化硅单晶中杂质元素含量的测定

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-有色金属

CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法

ICS分类： 77.040.30金属材料试验 - 金属材料化学分析

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