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半导体光伏制造用双套管密封装置
发布日期：
2023-09-15
实施日期：
2023-10-01
主要技术内容:本文件规定了半导体光伏制造用双套管密封装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于半导体光伏制造用双套管密封装置的生产及检验
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