T/CPCIF 0334-2024-电子工业用气体氟氮混合气-国家数字标准馆

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电子工业用气体氟氮混合气

发布日期： 2024-03-01

实施日期： 2024-06-01

范围:本文件规定了电子工业用氟氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟，与氮气混合配制而成的电子工业用氟氮混合气;
主要技术内容:项目氟（F2）含量（体积分数）/10-2氮（N2）含量（体积分数）/10-2氧（O2）含量（体积分数）/10-6四氟化碳（CF4）含量（体积分数）/10-6六氟化硫（SF6）含量（体积分数）/10-6一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6氟化氢（HF）含量（体积分数）/10-6

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： G化工

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：中国石油和化学工业联合会

起草单位：福建永晶科技股份有限公司、洛阳森蓝化工材料科技有限公司、四川红华实业有限公司、山东华夏神舟新材料有限公司、岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、福建三明金氟化工科技有限公司、三明学院、浙江博瑞中硝科技有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建省建阳金石氟业有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、上海栎智半导体科技有限公司、上海云必科技有限公司、北京国化新材料技术研究院有限公司、天津环材标准化服务有限公司

起草人：刘春花、阎晓冬、刘欣、丁勇、吴俊、徐清钢、郭秋雨、周锋、赵斌、张蒙、肖旺钏、付铁柱、毛玲玲、汤萍、应韵进、王新喜、潘华杰、李安林、彭雪丽

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