오염방지 엔클로저 부품-제4부:환기 및 가스정화시스템 (여과기, 트랩, 안전밸브, 조정밸브, 제어 장치, 보호 장치)
安全壳部件第4部分:过滤器、存水弯、安全阀和调节阀、控制和保护装置等通风和气体净化系统
发布日期:
2012-12-12
该标准规定了防污染机箱的通风及气体净化部件的设计标准和特性。其中包括直接安装在防污染存储模块上的部件及在屏蔽/非屏蔽防污染存储模块环境中使用的部件,这些部件单独使用或与KS A ISO 11933-1、KS A ISO 11933-2、KS A ISO 11933-3中定义的机械部件等一起使用。该标准的适用对象——过滤装置:高性能颗粒过滤器(HEPA)、碘过滤器等——安全阀和压力调节器——防污染机箱的机械防护系统——控制装置和压力测量装置
이 표준은 오염방지 엔클로저의 환기 및 가스정화 부품의 설계기준과 특성을 규정한다. 오염방지 엔클로저에 직접 장착되는 부품 및 차폐/비차폐 오염방지 엔클로저의 환경에서 사용되는 부품이 이에 포함되며, 이들 부품은 단독으로 사용되거나 KS A ISO 11933-1, KS A ISO 11933-2, KS A ISO 11933-3에 정의된 기계부품 등과 함께 사용된다. 이 표준의 적용 대상 ― 여과장치:고성능입자여과기(HEPA), 요오드여과기 등 ― 안전 밸브 및 압력 조절기 ― 오염방지 엔클로저의 기계적 방호 시스템 ― 제어 장치 및 압력측정 장치