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真空熔覆金刚石技术要求
发布日期: 2023-07-04
实施日期: 2023-07-20
主要技术内容:本文件规定了真空熔覆金刚石技术要求的术语和定义、设备参数要求、系统运行要求、运转期间巡视要求、注意事项。本文件适用于真空熔覆金刚石系统的运行及操作
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